క్లీన్ రూమ్‌లో ఉష్ణోగ్రత మరియు గాలి పీడన నియంత్రణ

ముఖ్యంగా పొగమంచు వాతావరణం పెరగడంతో పర్యావరణ పరిరక్షణకు మరింత ఎక్కువ ప్రాధాన్యత ఇవ్వబడుతోంది. క్లీన్ రూమ్ ఇంజనీరింగ్ అనేది పర్యావరణ పరిరక్షణ చర్యలలో ఒకటి. పర్యావరణ పరిరక్షణలో సమర్థవంతంగా పనిచేయడానికి క్లీన్ రూమ్ ఇంజనీరింగ్‌ను ఎలా ఉపయోగించాలి? క్లీన్ రూమ్ ఇంజనీరింగ్‌లోని నియంత్రణ గురించి చర్చిద్దాం.

క్లీన్ రూమ్‌లో ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ నియంత్రణ

శుభ్రమైన ప్రదేశాలలోని ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ ప్రధానంగా ప్రక్రియ అవసరాల ఆధారంగా నిర్ణయించబడతాయి, కానీ ప్రక్రియ అవసరాలను తీర్చేటప్పుడు, మానవ సౌకర్యాన్ని కూడా పరిగణనలోకి తీసుకోవాలి. గాలి శుభ్రత అవసరాలు మెరుగుపడటంతో, ప్రక్రియలో ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ కోసం మరింత కఠినమైన అవసరాలు విధించే ధోరణి ఉంది.

సాధారణ సూత్రం ప్రకారం, ప్రాసెసింగ్‌లో కచ్చితత్వం పెరగడం వల్ల, ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గుల పరిధికి అవసరాలు మరింతగా తగ్గిపోతున్నాయి. ఉదాహరణకు, భారీ స్థాయి ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ ఉత్పత్తి యొక్క లిథోగ్రఫీ మరియు ఎక్స్‌పోజర్ ప్రక్రియలో, మాస్క్ మెటీరియల్స్‌గా ఉపయోగించే గాజు మరియు సిలికాన్ వేఫర్‌ల మధ్య ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకంలో వ్యత్యాసం అంతకంతకూ తగ్గిపోతోంది.

100 μm వ్యాసం గల సిలికాన్ వేఫర్, ఉష్ణోగ్రత 1 డిగ్రీ పెరిగినప్పుడు 0.24 μm రేఖీయ వ్యాకోచానికి గురవుతుంది. అందువల్ల, ± 0.1 ℃ స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత అవసరం, మరియు తేమ విలువ సాధారణంగా తక్కువగా ఉంటుంది, ఎందుకంటే చెమట పట్టిన తర్వాత ఉత్పత్తి కలుషితమవుతుంది, ముఖ్యంగా సోడియంకు భయపడే సెమీకండక్టర్ వర్క్‌షాప్‌లలో. ఈ రకమైన వర్క్‌షాప్‌లో ఉష్ణోగ్రత 25℃ మించకూడదు.

అధిక తేమ మరిన్ని సమస్యలను కలిగిస్తుంది. సాపేక్ష ఆర్ద్రత 55% దాటినప్పుడు, శీతలీకరణ నీటి పైపు గోడపై నీటి ఆవిరి ఏర్పడుతుంది. ఇది సూక్ష్మమైన పరికరాలు లేదా సర్క్యూట్‌లలో సంభవిస్తే, అది వివిధ ప్రమాదాలకు కారణం కావచ్చు. సాపేక్ష ఆర్ద్రత 50% ఉన్నప్పుడు, తుప్పు పట్టడం సులభం. అంతేకాకుండా, ఆర్ద్రత చాలా ఎక్కువగా ఉన్నప్పుడు, సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలానికి అంటుకున్న ధూళి గాలిలోని నీటి అణువుల ద్వారా రసాయనికంగా ఉపరితలంపై శోషించబడుతుంది, దీనిని తొలగించడం కష్టం.

సాపేక్ష ఆర్ద్రత ఎంత ఎక్కువగా ఉంటే, అంటుకున్న పదార్థాన్ని తొలగించడం అంత కష్టమవుతుంది. అయితే, సాపేక్ష ఆర్ద్రత 30% కంటే తక్కువగా ఉన్నప్పుడు, స్థిర విద్యుత్ బలం చర్య కారణంగా కణాలు కూడా ఉపరితలంపై సులభంగా అధిశోషించబడతాయి, మరియు పెద్ద సంఖ్యలో సెమీకండక్టర్ పరికరాలు విచ్ఛిన్నమయ్యే ప్రమాదం ఉంది. సిలికాన్ వేఫర్ ఉత్పత్తికి అనువైన ఉష్ణోగ్రత పరిధి 35-45%.

గాలి పీడనంనియంత్రణశుభ్రమైన గదిలో 

చాలా శుభ్రమైన ప్రదేశాలలో, బాహ్య కాలుష్యం లోపలికి రాకుండా నిరోధించడానికి, బాహ్య పీడనం (స్టాటిక్ ప్రెజర్) కంటే అంతర్గత పీడనం (స్టాటిక్ ప్రెజర్) ఎక్కువగా ఉండేలా చూసుకోవడం అవసరం. పీడన వ్యత్యాసాన్ని నిర్వహించడం సాధారణంగా ఈ క్రింది సూత్రాలకు అనుగుణంగా ఉండాలి:

1. శుభ్రమైన ప్రదేశాలలో పీడనం, శుభ్రం కాని ప్రదేశాలలో కంటే ఎక్కువగా ఉండాలి.

2. అధిక శుభ్రత స్థాయిలు ఉన్న ప్రదేశాలలో ఒత్తిడి, ప్రక్కనే ఉన్న తక్కువ శుభ్రత స్థాయిలు గల ప్రదేశాల కంటే ఎక్కువగా ఉండాలి.

3. శుభ్రమైన గదుల మధ్య ఉన్న తలుపులు, అధిక పరిశుభ్రత స్థాయిలు ఉన్న గదుల వైపు తెరుచుకోవాలి.

పీడన వ్యత్యాసాన్ని కొనసాగించడం అనేది స్వచ్ఛమైన గాలి పరిమాణంపై ఆధారపడి ఉంటుంది, ఈ పీడన వ్యత్యాసం కింద ఉన్న ఖాళీల నుండి జరిగే గాలి లీకేజీని భర్తీ చేయగలగడమే దీని ఉద్దేశం. కాబట్టి పీడన వ్యత్యాసం యొక్క భౌతిక అర్థం ఏమిటంటే, క్లీన్ రూమ్‌లోని వివిధ ఖాళీల గుండా గాలి లీకేజీ (లేదా చొరబాటు) ప్రవాహానికి కలిగే నిరోధకత.