శుభ్రమైన గదిలో ఉష్ణోగ్రత మరియు వాయు పీడన నియంత్రణ

ముఖ్యంగా పొగమంచు వాతావరణం పెరుగుతున్నందున పర్యావరణ పరిరక్షణపై ఎక్కువ శ్రద్ధ చూపుతున్నారు. క్లీన్ రూమ్ ఇంజనీరింగ్ పర్యావరణ పరిరక్షణ చర్యలలో ఒకటి. పర్యావరణ పరిరక్షణలో మంచి పని చేయడానికి క్లీన్ రూమ్ ఇంజనీరింగ్‌ను ఎలా ఉపయోగించాలి? క్లీన్ రూమ్ ఇంజనీరింగ్‌లో నియంత్రణ గురించి మాట్లాడుకుందాం.

శుభ్రమైన గదిలో ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ నియంత్రణ

శుభ్రమైన ప్రదేశాల ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ ప్రధానంగా ప్రక్రియ అవసరాల ఆధారంగా నిర్ణయించబడతాయి, కానీ ప్రక్రియ అవసరాలను తీర్చేటప్పుడు, మానవ సౌకర్యాన్ని పరిగణనలోకి తీసుకోవాలి. గాలి శుభ్రత అవసరాల మెరుగుదలతో, ప్రక్రియలో ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ కోసం కఠినమైన అవసరాల ధోరణి ఉంది.

సాధారణ సూత్రంగా, ప్రాసెసింగ్ యొక్క పెరుగుతున్న ఖచ్చితత్వం కారణంగా, ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గుల పరిధికి అవసరాలు చిన్నవిగా మారుతున్నాయి. ఉదాహరణకు, పెద్ద-స్థాయి ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ ఉత్పత్తి యొక్క లితోగ్రఫీ మరియు ఎక్స్‌పోజర్ ప్రక్రియలో, మాస్క్ పదార్థాలుగా ఉపయోగించే గాజు మరియు సిలికాన్ వేఫర్‌ల మధ్య ఉష్ణ విస్తరణ గుణకంలో వ్యత్యాసం చాలా తక్కువగా మారుతోంది.

100 μm వ్యాసం కలిగిన సిలికాన్ వేఫర్ ఉష్ణోగ్రత 1 డిగ్రీ పెరిగినప్పుడు 0.24 μm రేఖీయ విస్తరణకు కారణమవుతుంది. అందువల్ల, ± 0.1 ℃ యొక్క స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత అవసరం, మరియు తేమ విలువ సాధారణంగా తక్కువగా ఉంటుంది ఎందుకంటే చెమట పట్టిన తర్వాత, ఉత్పత్తి కలుషితమవుతుంది, ముఖ్యంగా సోడియంకు భయపడే సెమీకండక్టర్ వర్క్‌షాప్‌లలో. ఈ రకమైన వర్క్‌షాప్ 25 ℃ మించకూడదు.

అధిక తేమ మరిన్ని సమస్యలను కలిగిస్తుంది. సాపేక్ష ఆర్ద్రత 55% దాటినప్పుడు, శీతలీకరణ నీటి పైపు గోడపై సంక్షేపణం ఏర్పడుతుంది. ఇది ప్రెసిషన్ పరికరాలు లేదా సర్క్యూట్లలో సంభవిస్తే, అది వివిధ ప్రమాదాలకు కారణమవుతుంది. సాపేక్ష ఆర్ద్రత 50% ఉన్నప్పుడు, అది తుప్పు పట్టడం సులభం. అదనంగా, తేమ చాలా ఎక్కువగా ఉన్నప్పుడు, సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క ఉపరితలంపై అంటుకున్న దుమ్ము గాలిలోని నీటి అణువుల ద్వారా రసాయనికంగా ఉపరితలంపై శోషించబడుతుంది, దీనిని తొలగించడం కష్టం.

సాపేక్ష ఆర్ద్రత ఎక్కువగా ఉంటే, సంశ్లేషణను తొలగించడం కష్టం. అయితే, సాపేక్ష ఆర్ద్రత 30% కంటే తక్కువగా ఉన్నప్పుడు, ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ శక్తి చర్య కారణంగా కణాలు ఉపరితలంపై సులభంగా శోషించబడతాయి మరియు పెద్ద సంఖ్యలో సెమీకండక్టర్ పరికరాలు విచ్ఛిన్నానికి గురవుతాయి. సిలికాన్ పొర ఉత్పత్తికి సరైన ఉష్ణోగ్రత పరిధి 35-45%.

గాలి పీడనంనియంత్రణశుభ్రమైన గదిలో 

చాలా శుభ్రమైన ప్రదేశాలలో, బాహ్య కాలుష్యం దాడి చేయకుండా నిరోధించడానికి, బాహ్య పీడనం (స్టాటిక్ ప్రెజర్) కంటే అంతర్గత పీడనం (స్టాటిక్ ప్రెజర్) ఎక్కువగా నిర్వహించడం అవసరం. పీడన వ్యత్యాసాన్ని నిర్వహించడం సాధారణంగా ఈ క్రింది సూత్రాలకు అనుగుణంగా ఉండాలి:

1. శుభ్రమైన ప్రదేశాలలో ఒత్తిడి అపరిశుభ్రమైన ప్రదేశాల కంటే ఎక్కువగా ఉండాలి.

2. అధిక పరిశుభ్రత స్థాయిలు ఉన్న ప్రదేశాలలో ఒత్తిడి తక్కువ పరిశుభ్రత స్థాయిలు ఉన్న ప్రక్కనే ఉన్న ప్రదేశాల కంటే ఎక్కువగా ఉండాలి.

3. శుభ్రమైన గదుల మధ్య తలుపులు అధిక శుభ్రత స్థాయిలు ఉన్న గదుల వైపు తెరవాలి.

పీడన వ్యత్యాసం నిర్వహణ అనేది తాజా గాలి పరిమాణంపై ఆధారపడి ఉంటుంది, ఇది ఈ పీడన వ్యత్యాసం కింద అంతరం నుండి గాలి లీకేజీని భర్తీ చేయగలగాలి. కాబట్టి పీడన వ్యత్యాసం యొక్క భౌతిక అర్థం శుభ్రమైన గదిలోని వివిధ అంతరాల ద్వారా లీకేజ్ (లేదా చొరబాటు) గాలి ప్రవాహానికి నిరోధకత.