శుభ్రమైన గదిలో ఉష్ణోగ్రత మరియు వాయు పీడన నియంత్రణ

ముఖ్యంగా పొగమంచు వాతావరణం పెరగడంతో పర్యావరణ పరిరక్షణపై మరింత ఎక్కువ శ్రద్ధ వహిస్తారు. పర్యావరణ పరిరక్షణ చర్యలలో క్లీన్ రూమ్ ఇంజనీరింగ్ ఒకటి. పర్యావరణ పరిరక్షణలో మంచి పని చేయడానికి క్లీన్ రూమ్ ఇంజనీరింగ్‌ని ఎలా ఉపయోగించాలి? క్లీన్ రూమ్ ఇంజనీరింగ్‌లో నియంత్రణ గురించి మాట్లాడుకుందాం.

శుభ్రమైన గదిలో ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ నియంత్రణ

శుభ్రమైన ప్రదేశాల ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ ప్రధానంగా ప్రక్రియ అవసరాల ఆధారంగా నిర్ణయించబడతాయి, అయితే ప్రక్రియ అవసరాలను తీర్చినప్పుడు, మానవ సౌకర్యాన్ని పరిగణనలోకి తీసుకోవాలి. గాలి శుభ్రత అవసరాల మెరుగుదలతో, ప్రక్రియలో ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ కోసం కఠినమైన అవసరాలు ఉంటాయి.

సాధారణ సూత్రం ప్రకారం, ప్రాసెసింగ్ యొక్క పెరుగుతున్న ఖచ్చితత్వం కారణంగా, ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గుల పరిధికి అవసరాలు చిన్నవిగా మరియు చిన్నవిగా మారుతున్నాయి. ఉదాహరణకు, పెద్ద-స్థాయి ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ ఉత్పత్తి యొక్క లితోగ్రఫీ మరియు ఎక్స్‌పోజర్ ప్రక్రియలో, ముసుగు పదార్థాలుగా ఉపయోగించే గాజు మరియు సిలికాన్ పొరల మధ్య ఉష్ణ విస్తరణ గుణకంలో వ్యత్యాసం చాలా చిన్నదిగా మారుతోంది.

100 μm వ్యాసం కలిగిన సిలికాన్ పొర ఉష్ణోగ్రత 1 డిగ్రీ పెరిగినప్పుడు 0.24 μm సరళ విస్తరణకు కారణమవుతుంది. అందువల్ల, ± 0.1 ℃ స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత అవసరం, మరియు తేమ విలువ సాధారణంగా తక్కువగా ఉంటుంది, ఎందుకంటే చెమట పట్టిన తర్వాత, ఉత్పత్తి కలుషితమవుతుంది, ముఖ్యంగా సోడియంకు భయపడే సెమీకండక్టర్ వర్క్‌షాప్‌లలో. ఈ రకమైన వర్క్‌షాప్ 25℃ కంటే ఎక్కువ ఉండకూడదు.

అధిక తేమ ఎక్కువ సమస్యలను కలిగిస్తుంది. సాపేక్ష ఆర్ద్రత 55% మించి ఉన్నప్పుడు, శీతలీకరణ నీటి పైపు గోడపై సంక్షేపణం ఏర్పడుతుంది. ఇది ఖచ్చితమైన పరికరాలు లేదా సర్క్యూట్లలో సంభవించినట్లయితే, ఇది వివిధ ప్రమాదాలకు కారణమవుతుంది. సాపేక్ష ఆర్ద్రత 50% ఉన్నప్పుడు, తుప్పు పట్టడం సులభం. అదనంగా, తేమ చాలా ఎక్కువగా ఉన్నప్పుడు, సిలికాన్ పొర యొక్క ఉపరితలంపై అంటుకునే ధూళి గాలిలోని నీటి అణువుల ద్వారా ఉపరితలంపై రసాయనికంగా శోషించబడుతుంది, ఇది తొలగించడం కష్టం.

సాపేక్ష ఆర్ద్రత ఎక్కువ, సంశ్లేషణను తొలగించడం కష్టం. అయినప్పటికీ, సాపేక్ష ఆర్ద్రత 30% కంటే తక్కువగా ఉన్నప్పుడు, ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ శక్తి యొక్క చర్య కారణంగా కణాలు ఉపరితలంపై సులభంగా శోషించబడతాయి మరియు పెద్ద సంఖ్యలో సెమీకండక్టర్ పరికరాలు విచ్ఛిన్నానికి గురవుతాయి. సిలికాన్ పొర ఉత్పత్తికి సరైన ఉష్ణోగ్రత పరిధి 35-45%.

గాలి ఒత్తిడినియంత్రణశుభ్రమైన గదిలో 

చాలా శుభ్రమైన ప్రదేశాల కోసం, బాహ్య కాలుష్యం దాడి చేయకుండా నిరోధించడానికి, బాహ్య పీడనం (స్టాటిక్ ప్రెజర్) కంటే అంతర్గత ఒత్తిడిని (స్టాటిక్ ప్రెజర్) నిర్వహించడం అవసరం. ఒత్తిడి వ్యత్యాసం నిర్వహణ సాధారణంగా క్రింది సూత్రాలకు అనుగుణంగా ఉండాలి:

1. శుభ్రమైన ప్రదేశాలలో ఒత్తిడి నాన్ క్లీన్ స్పేస్‌ల కంటే ఎక్కువగా ఉండాలి.

2. అధిక శుభ్రత స్థాయిలు ఉన్న ప్రదేశాలలో ఒత్తిడి తక్కువ శుభ్రత స్థాయిలు ఉన్న ప్రక్కనే ఉన్న ప్రదేశాలలో కంటే ఎక్కువగా ఉండాలి.

3. శుభ్రమైన గదుల మధ్య తలుపులు అధిక శుభ్రత స్థాయిలు ఉన్న గదుల వైపు తెరవాలి.

పీడన వ్యత్యాసం యొక్క నిర్వహణ తాజా గాలి మొత్తంపై ఆధారపడి ఉంటుంది, ఈ పీడన వ్యత్యాసం క్రింద ఉన్న గ్యాప్ నుండి గాలి లీకేజీని భర్తీ చేయగలదు. కాబట్టి పీడన వ్యత్యాసం యొక్క భౌతిక అర్ధం శుభ్రమైన గదిలోని వివిధ ఖాళీల ద్వారా లీకేజ్ (లేదా చొరబాటు) గాలి ప్రవాహానికి నిరోధకత.