శుభ్రమైన గదిలో ఉష్ణోగ్రత మరియు వాయు పీడన నియంత్రణ

పర్యావరణ రక్షణ మరింత ఎక్కువ శ్రద్ధ చూపుతుంది, ముఖ్యంగా పొగమంచు వాతావరణం పెరుగుతుంది. క్లీన్ రూమ్ ఇంజనీరింగ్ పర్యావరణ పరిరక్షణ చర్యలలో ఒకటి. పర్యావరణ పరిరక్షణలో మంచి పని చేయడానికి క్లీన్ రూమ్ ఇంజనీరింగ్‌ను ఎలా ఉపయోగించాలి? క్లీన్ రూమ్ ఇంజనీరింగ్‌లో నియంత్రణ గురించి మాట్లాడుకుందాం.

శుభ్రమైన గదిలో ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ నియంత్రణ

శుభ్రమైన ప్రదేశాల ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ ప్రధానంగా ప్రక్రియ అవసరాల ఆధారంగా నిర్ణయించబడుతుంది, అయితే ప్రక్రియ అవసరాలను తీర్చినప్పుడు, మానవ సౌకర్యాన్ని పరిగణనలోకి తీసుకోవాలి. గాలి పరిశుభ్రత అవసరాల మెరుగుదలతో, ప్రక్రియలో ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ కోసం కఠినమైన అవసరాల ధోరణి ఉంది.

సాధారణ సూత్రంగా, ప్రాసెసింగ్ యొక్క పెరుగుతున్న ఖచ్చితత్వం కారణంగా, ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గుల పరిధికి అవసరాలు చిన్నవిగా మరియు చిన్నవిగా మారుతున్నాయి. ఉదాహరణకు, పెద్ద-స్థాయి ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ ఉత్పత్తి యొక్క లితోగ్రఫీ మరియు ఎక్స్పోజర్ ప్రక్రియలో, ముసుగు పదార్థాలుగా ఉపయోగించే గాజు మరియు సిలికాన్ పొరల మధ్య ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం యొక్క వ్యత్యాసం చాలా చిన్నదిగా మారుతోంది.

100 μ m వ్యాసం కలిగిన సిలికాన్ పొర ఉష్ణోగ్రత 1 డిగ్రీ పెరిగినప్పుడు 0.24 μ m సరళ విస్తరణకు కారణమవుతుంది. అందువల్ల, ± 0.1 of యొక్క స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత అవసరం, మరియు తేమ విలువ సాధారణంగా తక్కువగా ఉంటుంది ఎందుకంటే చెమట తర్వాత, ఉత్పత్తి కలుషితమవుతుంది, ముఖ్యంగా సోడియంకు భయపడే సెమీకండక్టర్ వర్క్‌షాప్‌లలో. ఈ రకమైన వర్క్‌షాప్ 25 మించకూడదు.

అధిక తేమ మరింత సమస్యలను కలిగిస్తుంది. సాపేక్ష ఆర్ద్రత 55%దాటినప్పుడు, శీతలీకరణ నీటి పైపు గోడపై సంగ్రహణ ఏర్పడుతుంది. ఇది ఖచ్చితమైన పరికరాలు లేదా సర్క్యూట్లలో సంభవిస్తే, అది వివిధ ప్రమాదాలకు కారణమవుతుంది. సాపేక్ష ఆర్ద్రత 50%ఉన్నప్పుడు, తుప్పు పట్టడం సులభం. అదనంగా, తేమ చాలా ఎక్కువగా ఉన్నప్పుడు, సిలికాన్ పొర యొక్క ఉపరితలానికి కట్టుబడి ఉన్న ధూళి గాలిలోని నీటి అణువుల ద్వారా ఉపరితలంపై రసాయనికంగా శోషించబడుతుంది, ఇది తొలగించడం కష్టం.

సాపేక్ష ఆర్ద్రత ఎక్కువ, సంశ్లేషణను తొలగించడం కష్టం. అయినప్పటికీ, సాపేక్ష ఆర్ద్రత 30%కంటే తక్కువగా ఉన్నప్పుడు, ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఫోర్స్ యొక్క చర్య కారణంగా కణాలు కూడా ఉపరితలంపై సులభంగా శోషించబడతాయి మరియు పెద్ద సంఖ్యలో సెమీకండక్టర్ పరికరాలు విచ్ఛిన్నమయ్యే అవకాశం ఉంది. సిలికాన్ పొర ఉత్పత్తికి సరైన ఉష్ణోగ్రత పరిధి 35-45%.

వాయు పీడనంనియంత్రణశుభ్రమైన గదిలో 

చాలా శుభ్రమైన ప్రదేశాల కోసం, బాహ్య కాలుష్యం ఆక్రమించకుండా నిరోధించడానికి, బాహ్య పీడనం (స్టాటిక్ ప్రెజర్) కంటే ఎక్కువ అంతర్గత పీడనం (స్టాటిక్ ప్రెజర్) ను నిర్వహించడం అవసరం. ఒత్తిడి వ్యత్యాసం యొక్క నిర్వహణ సాధారణంగా ఈ క్రింది సూత్రాలకు అనుగుణంగా ఉండాలి:

1. శుభ్రమైన ప్రదేశాలలో ఒత్తిడి శుభ్రమైన ప్రదేశాలలో కంటే ఎక్కువగా ఉండాలి.

2. అధిక పరిశుభ్రత స్థాయిలతో ఉన్న ప్రదేశాలలో ఒత్తిడి తక్కువ పరిశుభ్రత స్థాయిలతో ప్రక్కనే ఉన్న ప్రదేశాలలో కంటే ఎక్కువగా ఉండాలి.

3. అధిక పరిశుభ్రత స్థాయిలతో గదుల వైపు శుభ్రమైన గదుల మధ్య తలుపులు తెరవాలి.

పీడన వ్యత్యాసం యొక్క నిర్వహణ స్వచ్ఛమైన గాలి మొత్తంపై ఆధారపడి ఉంటుంది, ఇది ఈ పీడన వ్యత్యాసం కింద అంతరం నుండి గాలి లీకేజీని భర్తీ చేయగలదు. కాబట్టి పీడన వ్యత్యాసం యొక్క భౌతిక అర్ధం శుభ్రమైన గదిలోని వివిధ అంతరాల ద్వారా లీకేజ్ (లేదా చొరబాటు) గాలి ప్రవాహం యొక్క నిరోధకత.