క్లీన్ రూమ్‌లో ఎయిర్ ఫ్లో ఆర్గనైజేషన్ ప్రభావితం చేసే అంశాలు ఏమిటి?

చిప్ తయారీ పరిశ్రమలో చిప్ దిగుబడి, చిప్‌లో డిపాజిట్ చేయబడిన గాలి కణాల పరిమాణం మరియు సంఖ్యకు దగ్గరి సంబంధం కలిగి ఉంటుంది. మంచి గాలి ప్రవాహ సంస్థ ధూళి మూలాల నుండి ఉత్పన్నమయ్యే కణాలను శుభ్రమైన గది నుండి దూరంగా తీసుకెళ్లగలదు మరియు క్లీన్‌రూమ్ యొక్క పరిశుభ్రతను నిర్ధారిస్తుంది. అంటే, క్లీన్‌రూమ్‌లోని గాలి ప్రవాహ సంస్థ చిప్ ఉత్పత్తి దిగుబడిలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. శుభ్రమైన గది గాలి ప్రవాహ సంస్థ రూపకల్పనలో సాధించాల్సిన లక్ష్యాలు: హానికరమైన కణాల నిలుపుదలని నివారించడానికి ప్రవాహ క్షేత్రంలో ఎడ్డీ ప్రవాహాలను తగ్గించడం లేదా తొలగించడం; క్రాస్-కాలుష్యాన్ని నిరోధించడానికి తగిన సానుకూల పీడన ప్రవణతను నిర్వహించడానికి.

శుభ్రమైన గది సూత్రం ప్రకారం, కణాలపై పనిచేసే శక్తులు మాస్ ఫోర్స్, మాలిక్యులర్ ఫోర్స్, కణాల మధ్య ఆకర్షణ, వాయు ప్రవాహ బలం మొదలైనవి.

వాయుప్రసరణ శక్తి: సరఫరా మరియు తిరిగి వచ్చే వాయుప్రవాహం, ఉష్ణ ప్రసరణ వాయుప్రవాహం, కృత్రిమ ఉద్రేకం మరియు కణాలను తీసుకువెళ్లడానికి నిర్దిష్ట ప్రవాహ రేటుతో ఇతర వాయు ప్రవాహాల వల్ల ఏర్పడే వాయు ప్రవాహ శక్తిని సూచిస్తుంది. శుభ్రమైన గది పర్యావరణ సాంకేతిక నియంత్రణ కోసం, గాలి ప్రవాహ శక్తి అత్యంత ముఖ్యమైన అంశం.

గాలి ప్రవాహ కదలికలో, కణాలు దాదాపు అదే వేగంతో గాలి ప్రవాహాన్ని అనుసరిస్తాయని ప్రయోగాలు చూపించాయి. గాలిలోని కణాల పరిస్థితి గాలి ప్రవాహ పంపిణీ ద్వారా నిర్ణయించబడుతుంది. అంతర్గత కణాలపై వాయుప్రవాహం యొక్క ప్రధాన ప్రభావాలు: వాయు సరఫరా వాయుప్రసరణ (ప్రాధమిక వాయుప్రవాహం మరియు ద్వితీయ వాయుప్రవాహంతో సహా), వాయుప్రసరణ మరియు ఉష్ణ ప్రసరణ వాయుప్రవాహం కారణంగా ప్రజలు నడవడం మరియు ప్రక్రియ కార్యకలాపాలు మరియు పారిశ్రామిక పరికరాల వల్ల కణాలపై వాయుప్రవాహ ప్రభావం. క్లీన్‌రూమ్‌లలోని వివిధ వాయు సరఫరా పద్ధతులు, స్పీడ్ ఇంటర్‌ఫేస్‌లు, ఆపరేటర్లు మరియు పారిశ్రామిక పరికరాలు, ప్రేరేపిత దృగ్విషయాలు మొదలైనవి పరిశుభ్రత స్థాయిని ప్రభావితం చేసే అంశాలు.

1. వాయు సరఫరా పద్ధతి యొక్క ప్రభావం

(1) గాలి సరఫరా వేగం

ఏకరీతి గాలి ప్రవాహాన్ని నిర్ధారించడానికి, ఏకదిశాత్మక ప్రవాహం శుభ్రమైన గదిలో గాలి సరఫరా వేగం ఏకరీతిగా ఉండాలి; గాలి సరఫరా ఉపరితలంపై చనిపోయిన జోన్ చిన్నదిగా ఉండాలి; మరియు హెపా ఫిల్టర్ లోపల ఒత్తిడి తగ్గుదల కూడా ఏకరీతిగా ఉండాలి.

గాలి సరఫరా వేగం ఏకరీతిగా ఉంటుంది: అంటే, గాలి ప్రవాహం యొక్క అసమానత ± 20% లోపల నియంత్రించబడుతుంది.

గాలి సరఫరా ఉపరితలంపై తక్కువ డెడ్ స్పేస్ ఉంది: హెపా ఫ్రేమ్ యొక్క ప్లేన్ ఏరియాను మాత్రమే తగ్గించాలి, కానీ మరింత ముఖ్యంగా, రిడెండెంట్ ఫ్రేమ్‌ను సరళీకృతం చేయడానికి మాడ్యులర్ FFUని ఉపయోగించాలి.

గాలి ప్రవాహం నిలువుగా మరియు ఏక దిశలో ఉండేలా చూసుకోవడానికి, ఫిల్టర్ యొక్క ప్రెజర్ డ్రాప్ ఎంపిక కూడా చాలా ముఖ్యమైనది మరియు ఫిల్టర్‌లోని ఒత్తిడి నష్టం పక్షపాతంగా ఉండకూడదని ఇది అవసరం.

(2) FFU సిస్టమ్ మరియు యాక్సియల్ ఫ్లో ఫ్యాన్ సిస్టమ్ మధ్య పోలిక

FFU అనేది ఫ్యాన్ మరియు హెపా ఫిల్టర్‌తో కూడిన ఎయిర్ సప్లై యూనిట్. FFU యొక్క సెంట్రిఫ్యూగల్ ఫ్యాన్ ద్వారా గాలి పీల్చబడుతుంది మరియు డైనమిక్ పీడనాన్ని గాలి వాహికలో స్థిర ఒత్తిడిగా మారుస్తుంది. ఇది హెపా ఫిల్టర్ ద్వారా సమానంగా ఊడిపోతుంది. పైకప్పుపై గాలి సరఫరా ఒత్తిడి ప్రతికూల ఒత్తిడి. ఈ విధంగా ఫిల్టర్‌ను మార్చేటప్పుడు శుభ్రమైన గదిలోకి దుమ్ము రాదు. ఎయిర్ అవుట్‌లెట్ ఏకరూపత, గాలి ప్రవాహ సమాంతరత మరియు వెంటిలేషన్ ఎఫిషియెన్సీ ఇండెక్స్ పరంగా FFU వ్యవస్థ అక్షసంబంధ ప్రవాహ ఫ్యాన్ వ్యవస్థ కంటే మెరుగైనదని ప్రయోగాలు చూపించాయి. FFU వ్యవస్థ యొక్క వాయు ప్రవాహ సమాంతరత మెరుగ్గా ఉండటం దీనికి కారణం. FFU వ్యవస్థ యొక్క ఉపయోగం శుభ్రమైన గదిలో గాలి ప్రవాహ సంస్థను మెరుగుపరుస్తుంది.

(3) FFU యొక్క స్వంత నిర్మాణం యొక్క ప్రభావం

FFU ప్రధానంగా ఫ్యాన్లు, ఫిల్టర్లు, ఎయిర్ ఫ్లో గైడ్‌లు మరియు ఇతర భాగాలతో కూడి ఉంటుంది. హెపా ఫిల్టర్ అనేది డిజైన్ ద్వారా అవసరమైన శుభ్రతను సాధించడానికి శుభ్రమైన గదికి అత్యంత ముఖ్యమైన హామీ. ఫిల్టర్ యొక్క పదార్థం ప్రవాహ క్షేత్రం యొక్క ఏకరూపతను కూడా ప్రభావితం చేస్తుంది. ఫిల్టర్ అవుట్‌లెట్‌కి కఠినమైన ఫిల్టర్ మెటీరియల్ లేదా ఫ్లో ప్లేట్ జోడించబడినప్పుడు, అవుట్‌లెట్ ఫ్లో ఫీల్డ్ సులభంగా ఏకరీతిగా తయారవుతుంది.

2. విభిన్న శుభ్రతతో స్పీడ్ ఇంటర్‌ఫేస్ ప్రభావం

అదే శుభ్రమైన గదిలో, నిలువు ఏకదిశాత్మక ప్రవాహంతో పని చేసే ప్రాంతం మరియు పని చేయని ప్రాంతం మధ్య, హెపా బాక్స్ వద్ద గాలి వేగంలో వ్యత్యాసం కారణంగా, ఇంటర్‌ఫేస్ వద్ద మిశ్రమ సుడి ప్రభావం ఏర్పడుతుంది మరియు ఈ ఇంటర్‌ఫేస్ అల్లకల్లోలంగా మారుతుంది. వాయుప్రసరణ జోన్. గాలి అల్లకల్లోలం యొక్క తీవ్రత ముఖ్యంగా బలంగా ఉంటుంది మరియు పరికరాలు యంత్రం యొక్క ఉపరితలంపై కణాలు ప్రసారం చేయబడతాయి మరియు పరికరాలు మరియు పొరలను కలుషితం చేస్తాయి.

3. సిబ్బంది మరియు పరికరాలపై ప్రభావం

శుభ్రమైన గది ఖాళీగా ఉన్నప్పుడు, గదిలోని గాలి ప్రవాహ లక్షణాలు సాధారణంగా డిజైన్ అవసరాలకు అనుగుణంగా ఉంటాయి. పరికరాలు క్లీన్‌రూమ్‌లోకి ప్రవేశించిన తర్వాత, ప్రజలు తరలిస్తారు మరియు ఉత్పత్తులు రవాణా చేయబడితే, పరికరాల యంత్రం నుండి పొడుచుకు వచ్చిన పదునైన పాయింట్లు వంటి గాలి ప్రవాహ సంస్థకు అనివార్యంగా అడ్డంకులు ఉన్నాయి. మూలలు లేదా అంచుల వద్ద, వాయువు అల్లకల్లోలంగా ప్రవహించే ప్రాంతాన్ని ఏర్పరుస్తుంది మరియు ఆ ప్రాంతంలోని ద్రవం ఇన్‌కమింగ్ గ్యాస్ ద్వారా సులభంగా తీసుకువెళ్లదు, తద్వారా కాలుష్యం ఏర్పడుతుంది.

అదే సమయంలో, యాంత్రిక సామగ్రి యొక్క ఉపరితలం నిరంతర ఆపరేషన్ కారణంగా వేడి చేయబడుతుంది మరియు ఉష్ణోగ్రత ప్రవణత యంత్రం సమీపంలో ఒక రిఫ్లో ప్రాంతానికి కారణమవుతుంది, ఇది రిఫ్లో ప్రాంతంలో కణాల చేరడం పెరుగుతుంది. అదే సమయంలో, అధిక ఉష్ణోగ్రత కణాలు సులభంగా తప్పించుకోవడానికి కారణమవుతాయి. ద్వంద్వ ప్రభావం మొత్తం నిలువు పొరను తీవ్రతరం చేస్తుంది. స్ట్రీమ్ పరిశుభ్రతను నియంత్రించడంలో ఇబ్బంది. శుభ్రమైన గదిలోని ఆపరేటర్ల నుండి వచ్చే దుమ్ము ఈ రిఫ్లో ప్రాంతాల్లోని పొరలకు సులభంగా కట్టుబడి ఉంటుంది.

4. రిటర్న్ ఎయిర్ ఫ్లోర్ యొక్క ప్రభావం

నేల గుండా తిరిగి వచ్చే గాలి యొక్క ప్రతిఘటన భిన్నంగా ఉన్నప్పుడు, పీడన వ్యత్యాసం ఏర్పడుతుంది, దీని వలన గాలి చిన్న ప్రతిఘటన దిశలో ప్రవహిస్తుంది మరియు ఏకరీతి గాలి ప్రవాహం పొందబడదు. ప్రస్తుత ప్రసిద్ధ డిజైన్ పద్ధతి ఎలివేటెడ్ ఫ్లోర్‌ను ఉపయోగించడం. ఎలివేటెడ్ ఫ్లోర్ యొక్క ప్రారంభ నిష్పత్తి 10% వద్ద ఉన్నప్పుడు, గాలి ప్రవాహ వేగం ఇండోర్ పని ఎత్తులో సమానంగా పంపిణీ చేయబడుతుంది. అదనంగా, నేలపై కాలుష్యం యొక్క మూలాన్ని తగ్గించడానికి శుభ్రపరిచే పనికి కఠినమైన శ్రద్ధ ఉండాలి.

5. ఇండక్షన్ దృగ్విషయం

ఇండక్షన్ దృగ్విషయం అని పిలవబడేది ఏకరీతి ప్రవాహానికి వ్యతిరేక దిశలో వాయు ప్రవాహాన్ని ఉత్పత్తి చేసే దృగ్విషయాన్ని సూచిస్తుంది, గదిలో ఉత్పన్నమయ్యే దుమ్ము లేదా ప్రక్కనే ఉన్న కలుషితమైన ప్రదేశాలలో దుమ్మును పైకి ప్రేరేపిస్తుంది, తద్వారా దుమ్ము పొరను కలుషితం చేస్తుంది. సాధ్యమయ్యే ప్రేరేపిత దృగ్విషయాలు క్రింది వాటిని కలిగి ఉంటాయి:

(1) బ్లైండ్ ప్లేట్

నిలువు వన్-వే ప్రవాహంతో శుభ్రమైన గదిలో, గోడపై ఉన్న కీళ్ల కారణంగా, సాధారణంగా పెద్ద బ్లైండ్ ప్యానెల్లు ఉన్నాయి, ఇవి అల్లకల్లోలమైన ప్రవాహాన్ని మరియు స్థానిక బ్యాక్‌ఫ్లోను ఉత్పత్తి చేస్తాయి.

(2) దీపములు

శుభ్రమైన గదిలో లైటింగ్ పరికరాలు ఎక్కువ ప్రభావం చూపుతాయి. ఫ్లోరోసెంట్ దీపం యొక్క వేడి గాలి ప్రవాహం పెరగడానికి కారణమవుతుంది కాబట్టి, ఫ్లోరోసెంట్ దీపం కల్లోల ప్రాంతంగా మారదు. సాధారణంగా, శుభ్రమైన గదిలోని దీపాలు వాయు ప్రవాహ సంస్థపై దీపాల ప్రభావాన్ని తగ్గించడానికి కన్నీటి చుక్క ఆకారంలో రూపొందించబడ్డాయి.

(3) గోడల మధ్య ఖాళీలు

వేర్వేరు పరిశుభ్రత అవసరాలతో విభజన గోడలు లేదా పైకప్పుల మధ్య ఖాళీలు ఉన్నప్పుడు, తక్కువ శుభ్రత అవసరాలు ఉన్న ప్రాంతాల నుండి దుమ్మును అధిక శుభ్రత అవసరాలతో ప్రక్కనే ఉన్న ప్రాంతాలకు బదిలీ చేయవచ్చు.

(4) మెకానికల్ పరికరాలు మరియు నేల లేదా గోడ మధ్య దూరం

మెకానికల్ పరికరాలు మరియు నేల లేదా గోడ మధ్య అంతరం తక్కువగా ఉంటే, రీబౌండ్ అల్లకల్లోలం ఏర్పడుతుంది. అందువల్ల, పరికరాలు మరియు గోడ మధ్య ఖాళీని వదిలి, నేలతో ప్రత్యక్ష సంబంధాన్ని నివారించడానికి యంత్ర వేదికను పెంచండి.