శుభ్రమైన గదిలో వాయు ప్రవాహ సంస్థ యొక్క ఇన్ఫ్లూయెన్సింగ్ కారకాలు ఏమిటి?

చిప్ తయారీ పరిశ్రమలో చిప్ దిగుబడి చిప్‌పై నిక్షిప్తం చేయబడిన గాలి కణాల పరిమాణం మరియు సంఖ్యకు దగ్గరి సంబంధం కలిగి ఉంటుంది. మంచి గాలి ప్రవాహ సంస్థ దుమ్ము వనరుల నుండి ఉత్పన్నమయ్యే కణాలను శుభ్రమైన గది నుండి దూరంగా తీసుకెళ్లి క్లీన్‌రూమ్ యొక్క పరిశుభ్రతను నిర్ధారించగలదు. అంటే, క్లీన్‌రూమ్‌లోని గాలి ప్రవాహ సంస్థ చిప్ ఉత్పత్తి దిగుబడిలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. క్లీన్ రూమ్ ఎయిర్ ఫ్లో ఆర్గనైజేషన్ రూపకల్పనలో సాధించాల్సిన లక్ష్యాలు: హానికరమైన కణాల నిలుపుదలని నివారించడానికి ప్రవాహ క్షేత్రంలో ఎడ్డీ కరెంట్‌లను తగ్గించడం లేదా తొలగించడం; క్రాస్-కాలుష్యాన్ని నివారించడానికి తగిన సానుకూల పీడన ప్రవణతను నిర్వహించడం.

క్లీన్ రూమ్ సూత్రం ప్రకారం, కణాలపై పనిచేసే బలాలలో ద్రవ్యరాశి బలం, పరమాణు బలం, కణాల మధ్య ఆకర్షణ, గాలి ప్రవాహ బలం మొదలైనవి ఉంటాయి.

వాయు ప్రవాహ శక్తి: సరఫరా మరియు తిరిగి వచ్చే వాయు ప్రవాహం, ఉష్ణ ఉష్ణప్రసరణ వాయు ప్రవాహం, కృత్రిమ ఆందోళన మరియు కణాలను మోసుకెళ్లడానికి ఒక నిర్దిష్ట ప్రవాహ రేటుతో ఇతర వాయు ప్రవాహాల వల్ల కలిగే వాయు ప్రవాహ శక్తిని సూచిస్తుంది. శుభ్రమైన గది పర్యావరణ సాంకేతిక నియంత్రణ కోసం, గాలి ప్రవాహ శక్తి అత్యంత ముఖ్యమైన అంశం.

వాయుప్రసరణ కదలికలో, కణాలు దాదాపు అదే వేగంతో వాయుప్రసరణను అనుసరిస్తాయని ప్రయోగాలు చూపించాయి. గాలిలోని కణాల స్థితి వాయుప్రసరణ పంపిణీ ద్వారా నిర్ణయించబడుతుంది. ఇండోర్ కణాలపై వాయుప్రసరణ యొక్క ప్రధాన ప్రభావాలు: గాలి సరఫరా వాయుప్రసరణ (ప్రాథమిక వాయుప్రసరణ మరియు ద్వితీయ వాయుప్రసరణతో సహా), ప్రజలు నడవడం వల్ల కలిగే వాయుప్రసరణ మరియు ఉష్ణ ఉష్ణప్రసరణ వాయుప్రసరణ మరియు ప్రక్రియ కార్యకలాపాలు మరియు పారిశ్రామిక పరికరాల వల్ల కలిగే కణాలపై వాయుప్రసరణ ప్రభావం. క్లీన్‌రూమ్‌లలో వివిధ వాయు సరఫరా పద్ధతులు, వేగ ఇంటర్‌ఫేస్‌లు, ఆపరేటర్లు మరియు పారిశ్రామిక పరికరాలు, ప్రేరేపిత దృగ్విషయాలు మొదలైనవి శుభ్రత స్థాయిని ప్రభావితం చేసే అంశాలు.

1. వాయు సరఫరా పద్ధతి ప్రభావం

(1) గాలి సరఫరా వేగం

ఏకరీతి గాలి ప్రవాహాన్ని నిర్ధారించడానికి, ఏకదిశాత్మక ప్రవాహ శుభ్రమైన గదిలో గాలి సరఫరా వేగం ఏకరీతిగా ఉండాలి; గాలి సరఫరా ఉపరితలంపై డెడ్ జోన్ చిన్నదిగా ఉండాలి; మరియు హెపా ఫిల్టర్ లోపల పీడన తగ్గుదల కూడా ఏకరీతిగా ఉండాలి.

గాలి సరఫరా వేగం ఏకరీతిగా ఉంటుంది: అంటే, గాలి ప్రవాహం యొక్క అసమానత ±20% లోపల నియంత్రించబడుతుంది.

గాలి సరఫరా ఉపరితలంపై తక్కువ డెడ్ స్పేస్ ఉంది: హెపా ఫ్రేమ్ యొక్క ప్లేన్ ఏరియాను తగ్గించడమే కాకుండా, మరింత ముఖ్యంగా, రిడెండెంట్ ఫ్రేమ్‌ను సరళీకృతం చేయడానికి మాడ్యులర్ FFUని ఉపయోగించాలి.

గాలి ప్రవాహం నిలువుగా మరియు ఏక దిశలో ఉండేలా చూసుకోవడానికి, ఫిల్టర్ యొక్క పీడన తగ్గుదల ఎంపిక కూడా చాలా ముఖ్యం, మరియు ఫిల్టర్ లోపల పీడన నష్టాన్ని పక్షపాతం చేయకూడదు.

(2) FFU వ్యవస్థ మరియు అక్షసంబంధ ప్రవాహ ఫ్యాన్ వ్యవస్థ మధ్య పోలిక

FFU అనేది ఫ్యాన్ మరియు హెపా ఫిల్టర్‌తో కూడిన ఎయిర్ సప్లై యూనిట్. FFU యొక్క సెంట్రిఫ్యూగల్ ఫ్యాన్ ద్వారా గాలి పీల్చుకోబడుతుంది మరియు డైనమిక్ పీడనాన్ని ఎయిర్ డక్ట్‌లోని స్టాటిక్ పీడనంగా మారుస్తుంది. ఇది హెపా ఫిల్టర్ ద్వారా సమానంగా బయటకు పంపబడుతుంది. పైకప్పుపై గాలి సరఫరా పీడనం ప్రతికూల పీడనం. ఈ విధంగా ఫిల్టర్‌ను భర్తీ చేసేటప్పుడు శుభ్రమైన గదిలోకి ఎటువంటి దుమ్ము లీక్ అవ్వదు. ఎయిర్ అవుట్‌లెట్ ఏకరూపత, గాలి ప్రవాహ సమాంతరత మరియు వెంటిలేషన్ సామర్థ్య సూచిక పరంగా FFU వ్యవస్థ అక్షసంబంధ ప్రవాహ ఫ్యాన్ వ్యవస్థ కంటే మెరుగైనదని ప్రయోగాలు చూపించాయి. ఎందుకంటే FFU వ్యవస్థ యొక్క ఎయిర్ ప్రవాహ సమాంతరత మెరుగ్గా ఉంటుంది. FFU వ్యవస్థను ఉపయోగించడం వల్ల క్లీన్ రూమ్‌లో ఎయిర్ ప్రవాహ సంస్థ మెరుగుపడుతుంది.

(3) FFU యొక్క సొంత నిర్మాణం యొక్క ప్రభావం

FFU ప్రధానంగా ఫ్యాన్లు, ఫిల్టర్లు, ఎయిర్ ఫ్లో గైడ్‌లు మరియు ఇతర భాగాలతో కూడి ఉంటుంది. డిజైన్ ద్వారా అవసరమైన శుభ్రతను సాధించడానికి శుభ్రమైన గదికి హెపా ఫిల్టర్ అత్యంత ముఖ్యమైన హామీ. ఫిల్టర్ యొక్క పదార్థం ప్రవాహ క్షేత్రం యొక్క ఏకరూపతను కూడా ప్రభావితం చేస్తుంది. ఫిల్టర్ అవుట్‌లెట్‌కు కఠినమైన ఫిల్టర్ పదార్థం లేదా ఫ్లో ప్లేట్ జోడించబడినప్పుడు, అవుట్‌లెట్ ఫ్లో ఫీల్డ్‌ను సులభంగా ఏకరీతిగా చేయవచ్చు.

2. విభిన్న శుభ్రతతో స్పీడ్ ఇంటర్‌ఫేస్ ప్రభావం

అదే శుభ్రమైన గదిలో, పని చేసే ప్రాంతం మరియు నిలువు ఏకదిశాత్మక ప్రవాహంతో పనిచేయని ప్రాంతం మధ్య, హెపా బాక్స్ వద్ద గాలి వేగంలో వ్యత్యాసం కారణంగా, ఇంటర్‌ఫేస్ వద్ద మిశ్రమ సుడిగుండం ప్రభావం ఏర్పడుతుంది మరియు ఈ ఇంటర్‌ఫేస్ అల్లకల్లోల వాయు ప్రవాహ జోన్‌గా మారుతుంది. గాలి అల్లకల్లోలం యొక్క తీవ్రత ముఖ్యంగా బలంగా ఉంటుంది మరియు కణాలు పరికరాల యంత్రం యొక్క ఉపరితలంపైకి ప్రసారం చేయబడి పరికరాలు మరియు పొరలను కలుషితం చేయవచ్చు.

3. సిబ్బంది మరియు పరికరాలపై ప్రభావం

శుభ్రమైన గది ఖాళీగా ఉన్నప్పుడు, గదిలోని గాలి ప్రవాహ లక్షణాలు సాధారణంగా డిజైన్ అవసరాలను తీరుస్తాయి. పరికరాలు శుభ్రమైన గదిలోకి ప్రవేశించిన తర్వాత, ప్రజలు తరలివెళ్లి, ఉత్పత్తులు రవాణా చేయబడిన తర్వాత, గాలి ప్రవాహ సంస్థకు అనివార్యంగా అడ్డంకులు ఏర్పడతాయి, ఉదాహరణకు పరికరాల యంత్రం నుండి పొడుచుకు వచ్చిన పదునైన బిందువులు. మూలలు లేదా అంచుల వద్ద, వాయువు అల్లకల్లోల ప్రవాహ ప్రాంతాన్ని ఏర్పరుస్తుంది మరియు ఆ ప్రాంతంలోని ద్రవం ఇన్‌కమింగ్ వాయువు ద్వారా సులభంగా తీసుకెళ్లబడదు, తద్వారా కాలుష్యం ఏర్పడుతుంది.

అదే సమయంలో, నిరంతర ఆపరేషన్ కారణంగా యాంత్రిక పరికరాల ఉపరితలం వేడెక్కుతుంది మరియు ఉష్ణోగ్రత ప్రవణత యంత్రం దగ్గర రిఫ్లో ప్రాంతాన్ని కలిగిస్తుంది, ఇది రిఫ్లో ప్రాంతంలో కణాల చేరడం పెంచుతుంది. అదే సమయంలో, అధిక ఉష్ణోగ్రత సులభంగా కణాలు తప్పించుకునేలా చేస్తుంది. ద్వంద్వ ప్రభావం మొత్తం నిలువు పొరను తీవ్రతరం చేస్తుంది. ప్రవాహ శుభ్రతను నియంత్రించడంలో ఇబ్బంది. శుభ్రమైన గదిలోని ఆపరేటర్ల నుండి వచ్చే దుమ్ము ఈ రిఫ్లో ప్రాంతాలలో వేఫర్‌లకు సులభంగా అంటుకుంటుంది.

4. రిటర్న్ ఎయిర్ ఫ్లోర్ ప్రభావం

నేల గుండా వెళ్ళే తిరిగి వచ్చే గాలి నిరోధకత భిన్నంగా ఉన్నప్పుడు, పీడన వ్యత్యాసం ఏర్పడుతుంది, దీనివల్ల గాలి చిన్న నిరోధకత దిశలో ప్రవహిస్తుంది మరియు ఏకరీతి గాలి ప్రవాహం లభించదు. ప్రస్తుత ప్రసిద్ధ డిజైన్ పద్ధతి ఎలివేటెడ్ ఫ్లోర్‌ను ఉపయోగించడం. ఎలివేటెడ్ ఫ్లోర్ యొక్క ఓపెనింగ్ నిష్పత్తి 10% వద్ద ఉన్నప్పుడు, గాలి ప్రవాహ వేగాన్ని ఇండోర్ పని ఎత్తులో సమానంగా పంపిణీ చేయవచ్చు. అదనంగా, నేలపై కాలుష్య మూలాన్ని తగ్గించడానికి శుభ్రపరిచే పనిపై కఠినమైన శ్రద్ధ వహించాలి.

5. ఇండక్షన్ దృగ్విషయం

ఇండక్షన్ దృగ్విషయం అని పిలవబడేది ఏకరీతి ప్రవాహానికి వ్యతిరేక దిశలో వాయు ప్రవాహాన్ని ఉత్పత్తి చేసే దృగ్విషయాన్ని సూచిస్తుంది, గదిలో ఉత్పత్తి అయ్యే ధూళిని లేదా ప్రక్కనే ఉన్న కలుషిత ప్రాంతాలలోని ధూళిని గాలి వైపుకు ప్రేరేపిస్తుంది, తద్వారా దుమ్ము పొరను కలుషితం చేస్తుంది. సాధ్యమయ్యే ప్రేరేపిత దృగ్విషయాలలో ఈ క్రిందివి ఉన్నాయి:

(1) బ్లైండ్ ప్లేట్

గోడపై ఉన్న కీళ్ల కారణంగా, నిలువుగా ఉండే వన్-వే ప్రవాహం ఉన్న శుభ్రమైన గదిలో, సాధారణంగా అల్లకల్లోల ప్రవాహాన్ని మరియు స్థానిక బ్యాక్‌ఫ్లోను ఉత్పత్తి చేసే పెద్ద బ్లైండ్ ప్యానెల్‌లు ఉంటాయి.

(2) దీపాలు

శుభ్రమైన గదిలో లైటింగ్ ఫిక్చర్‌లు ఎక్కువ ప్రభావాన్ని చూపుతాయి. ఫ్లోరోసెంట్ దీపం యొక్క వేడి గాలి ప్రవాహాన్ని పెంచడానికి కారణమవుతుంది కాబట్టి, ఫ్లోరోసెంట్ దీపం అల్లకల్లోలంగా మారదు. సాధారణంగా, శుభ్రమైన గదిలోని దీపాలు గాలి ప్రవాహ వ్యవస్థపై దీపాల ప్రభావాన్ని తగ్గించడానికి కన్నీటి చుక్క ఆకారంలో రూపొందించబడ్డాయి.

(3) గోడల మధ్య ఖాళీలు

వేర్వేరు శుభ్రత అవసరాలు కలిగిన విభజన గోడలు లేదా పైకప్పుల మధ్య ఖాళీలు ఉన్నప్పుడు, తక్కువ శుభ్రత అవసరాలు కలిగిన ప్రాంతాల నుండి దుమ్మును అధిక శుభ్రత అవసరాలు కలిగిన ప్రక్కనే ఉన్న ప్రాంతాలకు బదిలీ చేయవచ్చు.

(4) యాంత్రిక పరికరాలు మరియు నేల లేదా గోడ మధ్య దూరం

యాంత్రిక పరికరాలు మరియు నేల లేదా గోడ మధ్య అంతరం తక్కువగా ఉంటే, రీబౌండ్ టర్బులెన్స్ ఏర్పడుతుంది. అందువల్ల, పరికరాలు మరియు గోడ మధ్య ఖాళీని వదిలి, నేలతో ప్రత్యక్ష సంబంధాన్ని నివారించడానికి యంత్ర ప్లాట్‌ఫారమ్‌ను పెంచండి.