శుభ్రమైన గదిలో వాయు ప్రవాహ సంస్థ యొక్క ప్రభావవంతమైన అంశాలు ఏమిటి?

చిప్ తయారీ పరిశ్రమలో చిప్ దిగుబడి చిప్‌లో జమ చేసిన వాయు కణాల పరిమాణం మరియు సంఖ్యతో దగ్గరి సంబంధం కలిగి ఉంటుంది. మంచి వాయు ప్రవాహ సంస్థ శుభ్రమైన గది నుండి దుమ్ము వనరుల నుండి ఉత్పత్తి చేయబడిన కణాలను తీసుకోవచ్చు మరియు క్లీన్‌రూమ్ యొక్క శుభ్రతను నిర్ధారించవచ్చు. అంటే, చిప్ ఉత్పత్తి దిగుబడిలో క్లీన్‌రూమ్‌లోని వాయు ప్రవాహ సంస్థ కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. శుభ్రమైన గది వాయు ప్రవాహ సంస్థ రూపకల్పనలో సాధించాల్సిన లక్ష్యాలు: హానికరమైన కణాలను నిలుపుకోకుండా ఉండటానికి ప్రవాహ క్షేత్రంలో ఎడ్డీ ప్రవాహాలను తగ్గించడం లేదా తొలగించడం; క్రాస్-కాలుష్యాన్ని నివారించడానికి తగిన సానుకూల పీడన ప్రవణతను నిర్వహించడానికి.

శుభ్రమైన గది సూత్రం ప్రకారం, కణాలపై పనిచేసే శక్తులలో సామూహిక శక్తి, పరమాణు శక్తి, కణాల మధ్య ఆకర్షణ, వాయు ప్రవాహ శక్తి మొదలైనవి ఉన్నాయి.

ఎయిర్ ఫ్లో ఫోర్స్: సరఫరా మరియు తిరిగి గాలి ప్రవాహం, థర్మల్ కన్వెక్షన్ వాయు ప్రవాహం, కృత్రిమ ఆందోళన మరియు ఇతర వాయు ప్రవాహాల వల్ల కలిగే వాయు ప్రవాహ శక్తిని సూచిస్తుంది. శుభ్రమైన గది పర్యావరణ సాంకేతిక నియంత్రణ కోసం, వాయు ప్రవాహ శక్తి చాలా ముఖ్యమైన అంశం.

వాయు ప్రవాహ కదలికలో, కణాలు వాయు ప్రవాహాన్ని దాదాపు అదే వేగంతో అనుసరిస్తాయని ప్రయోగాలు చూపించాయి. గాలిలో కణాల పరిస్థితి వాయు ప్రవాహ పంపిణీ ద్వారా నిర్ణయించబడుతుంది. ఇండోర్ కణాలపై వాయు ప్రవాహం యొక్క ప్రధాన ప్రభావాలు: వాయు సరఫరా వాయు ప్రవాహం (ప్రాధమిక వాయు ప్రవాహం మరియు ద్వితీయ వాయు ప్రవాహంతో సహా), ప్రజలు నడవడం వల్ల కలిగే వాయు ప్రవాహం మరియు ఉష్ణ ఉష్ణప్రసరణ వాయు ప్రవాహం మరియు ప్రాసెస్ కార్యకలాపాలు మరియు పారిశ్రామిక పరికరాల వల్ల కలిగే కణాలపై వాయు ప్రవాహ ప్రభావం. వివిధ వాయు సరఫరా పద్ధతులు, స్పీడ్ ఇంటర్‌ఫేస్‌లు, ఆపరేటర్లు మరియు పారిశ్రామిక పరికరాలు, ప్రేరేపిత దృగ్విషయాలు మొదలైనవి క్లీన్‌రూమ్‌లలో ఇవన్నీ పరిశుభ్రత స్థాయిని ప్రభావితం చేసే అంశాలు.

1. వాయు సరఫరా పద్ధతి యొక్క ప్రభావం

(1) వాయు సరఫరా వేగం

ఏకరీతి గాలి ప్రవాహాన్ని నిర్ధారించడానికి, ఏకదిశాత్మక ప్రవాహంలో గాలి సరఫరా వేగం శుభ్రమైన గదిలో ఏకరీతిగా ఉండాలి; వాయు సరఫరా ఉపరితలంపై డెడ్ జోన్ చిన్నదిగా ఉండాలి; మరియు HEPA వడపోతలో పీడన డ్రాప్ కూడా ఏకరీతిగా ఉండాలి.

వాయు సరఫరా వేగం ఏకరీతిగా ఉంటుంది: అనగా, గాలి ప్రవాహం యొక్క అసమానత ± 20%లోపు నియంత్రించబడుతుంది.

వాయు సరఫరా ఉపరితలంపై తక్కువ డెడ్ స్పేస్ ఉంది: HEPA ఫ్రేమ్ యొక్క విమాన ప్రాంతం తగ్గించడమే కాకుండా, మరింత ముఖ్యంగా, పునరావృత ఫ్రేమ్‌ను సరళీకృతం చేయడానికి మాడ్యులర్ FFU ను ఉపయోగించాలి.

గాలి ప్రవాహం నిలువుగా మరియు ఏకదిశంగా ఉందని నిర్ధారించడానికి, వడపోత యొక్క ప్రెజర్ డ్రాప్ ఎంపిక కూడా చాలా ముఖ్యం, మరియు వడపోతలోని పీడన నష్టాన్ని పక్షపాతం కలిగి ఉండకూడదు.

(2) FFU వ్యవస్థ మరియు అక్షసంబంధ ప్రవాహ అభిమాని వ్యవస్థ మధ్య పోలిక

FFU అనేది అభిమాని మరియు HEPA ఫిల్టర్‌తో కూడిన వాయు సరఫరా యూనిట్. గాలిని FFU యొక్క సెంట్రిఫ్యూగల్ అభిమాని ద్వారా పీల్చుకుంటుంది మరియు డైనమిక్ పీడనాన్ని గాలి వాహికలో స్థిరమైన పీడనంగా మారుస్తుంది. ఇది HEPA ఫిల్టర్ ద్వారా సమానంగా ఎగిరింది. పైకప్పుపై వాయు సరఫరా ఒత్తిడి ప్రతికూల ఒత్తిడి. ఈ విధంగా ఫిల్టర్‌ను భర్తీ చేసేటప్పుడు శుభ్రమైన గదిలోకి ఎటువంటి దుమ్ము లీక్ అవ్వదు. ఎయిర్ అవుట్లెట్ ఏకరూపత, వాయు ప్రవాహ సమాంతరత మరియు వెంటిలేషన్ ఎఫిషియెన్సీ ఇండెక్స్ పరంగా ఎఫ్‌ఎఫ్‌యు వ్యవస్థ అక్షసంబంధ ప్రవాహ అభిమాని వ్యవస్థ కంటే గొప్పదని ప్రయోగాలు చూపించాయి. ఎందుకంటే FFU వ్యవస్థ యొక్క గాలి ప్రవాహం సమాంతరత మంచిది. FFU వ్యవస్థ యొక్క ఉపయోగం శుభ్రమైన గదిలో వాయు ప్రవాహ సంస్థను మెరుగుపరుస్తుంది.

(3) FFU యొక్క స్వంత నిర్మాణం యొక్క ప్రభావం

FFU ప్రధానంగా అభిమానులు, ఫిల్టర్లు, ఎయిర్ ఫ్లో గైడ్‌లు మరియు ఇతర భాగాలతో కూడి ఉంటుంది. డిజైన్ ద్వారా అవసరమైన శుభ్రతను సాధించడానికి శుభ్రమైన గదికి HEPA ఫిల్టర్ చాలా ముఖ్యమైన హామీ. వడపోత యొక్క పదార్థం ప్రవాహ క్షేత్రం యొక్క ఏకరూపతను కూడా ప్రభావితం చేస్తుంది. కఠినమైన వడపోత పదార్థం లేదా ఫ్లో ప్లేట్ ఫిల్టర్ అవుట్‌లెట్‌కు జోడించినప్పుడు, అవుట్‌లెట్ ఫ్లో ఫీల్డ్‌ను సులభంగా ఏకరీతిగా చేయవచ్చు.

2. వేర్వేరు పరిశుభ్రతతో స్పీడ్ ఇంటర్ఫేస్ ప్రభావం

అదే శుభ్రమైన గదిలో, పని ప్రాంతం మరియు పని చేయని ప్రాంతం మధ్య నిలువు ఏకదిశాత్మక ప్రవాహంతో, HEPA పెట్టె వద్ద గాలి వేగం యొక్క వ్యత్యాసం కారణంగా, ఇంటర్ఫేస్ వద్ద మిశ్రమ సుడి ప్రభావం జరుగుతుంది మరియు ఈ ఇంటర్ఫేస్ అల్లకల్లోలంగా మారుతుంది వాయు ప్రవాహ జోన్. గాలి అల్లకల్లోలం యొక్క తీవ్రత ముఖ్యంగా బలంగా ఉంటుంది, మరియు కణాలు పరికరాల యంత్రం యొక్క ఉపరితలానికి ప్రసారం చేయబడతాయి మరియు పరికరాలు మరియు పొరలను కలుషితం చేయవచ్చు.

3. సిబ్బంది మరియు పరికరాలపై ప్రభావం

శుభ్రమైన గది ఖాళీగా ఉన్నప్పుడు, గదిలోని గాలి ప్రవాహ లక్షణాలు సాధారణంగా డిజైన్ అవసరాలను తీర్చగలవు. పరికరాలు క్లీన్‌రూమ్‌లోకి ప్రవేశించిన తర్వాత, ప్రజలు కదులుతారు మరియు ఉత్పత్తులు రవాణా చేయబడతాయి, వాయు ప్రవాహ సంస్థకు అనివార్యంగా అడ్డంకులు ఉన్నాయి, పరికరాల యంత్రం నుండి పొడుచుకు వచ్చిన పదునైన పాయింట్లు. మూలలు లేదా అంచుల వద్ద, వాయువు అల్లకల్లోలమైన ప్రవాహ ప్రాంతాన్ని ఏర్పరుస్తుంది, మరియు ఈ ప్రాంతంలోని ద్రవం ఇన్కమింగ్ వాయువు ద్వారా సులభంగా తీసుకోబడదు, తద్వారా కాలుష్యం ఏర్పడుతుంది.

అదే సమయంలో, నిరంతర ఆపరేషన్ కారణంగా యాంత్రిక పరికరాల ఉపరితలం వేడి చేయబడుతుంది, మరియు ఉష్ణోగ్రత ప్రవణత యంత్రం దగ్గర రిఫ్లో ప్రాంతానికి కారణమవుతుంది, ఇది రిఫ్లో ప్రాంతంలో కణాల చేరడం పెంచుతుంది. అదే సమయంలో, అధిక ఉష్ణోగ్రత సులభంగా కణాలు తప్పించుకోవడానికి కారణమవుతుంది. ద్వంద్వ ప్రభావం మొత్తం నిలువు పొరను తీవ్రతరం చేస్తుంది. స్ట్రీమ్ శుభ్రతను నియంత్రించడంలో ఇబ్బంది. శుభ్రమైన గదిలోని ఆపరేటర్ల నుండి ధూళి ఈ రిఫ్లో ప్రాంతాలలో పొరలకు సులభంగా కట్టుబడి ఉంటుంది.

4. రిటర్న్ ఎయిర్ ఫ్లోర్ ప్రభావం

నేల గుండా వెళుతున్న రిటర్న్ గాలి యొక్క నిరోధకత భిన్నంగా ఉన్నప్పుడు, పీడన వ్యత్యాసం సంభవిస్తుంది, దీనివల్ల చిన్న ప్రతిఘటన దిశలో గాలి ప్రవహిస్తుంది మరియు ఏకరీతి గాలి ప్రవాహం పొందబడదు. ప్రస్తుత జనాదరణ పొందిన డిజైన్ పద్ధతి ఎత్తైన అంతస్తును ఉపయోగించడం. ఎలివేటెడ్ ఫ్లోర్ యొక్క ప్రారంభ నిష్పత్తి 10%వద్ద ఉన్నప్పుడు, గాలి ప్రవాహ వేగాన్ని ఇండోర్ పని ఎత్తులో సమానంగా పంపిణీ చేయవచ్చు. అదనంగా, నేలపై కాలుష్యం యొక్క మూలాన్ని తగ్గించడానికి శుభ్రపరిచే పనులపై కఠినమైన శ్రద్ధ వహించాలి.

5. ఇండక్షన్ దృగ్విషయం

ఇండక్షన్ దృగ్విషయం అని పిలవబడేది ఏకరీతి ప్రవాహానికి వ్యతిరేక దిశలో వాయు ప్రవాహాన్ని ఉత్పత్తి చేసే దృగ్విషయాన్ని సూచిస్తుంది, గదిలో లేదా ధూళిలో ధూళిని ప్రక్కనే ఉన్న కలుషితమైన ప్రాంతాలలో ఉప్పెన వైపుకు ప్రేరేపిస్తుంది, తద్వారా దుమ్ము పొరను కలుషితం చేస్తుంది. సాధ్యమయ్యే ప్రేరేపిత దృగ్విషయాలు ఈ క్రింది వాటిని కలిగి ఉన్నాయి:

(1) బ్లైండ్ ప్లేట్

నిలువు వన్-వే ప్రవాహంతో శుభ్రమైన గదిలో, గోడపై ఉన్న కీళ్ల కారణంగా, సాధారణంగా పెద్ద బ్లైండ్ ప్యానెల్లు ఉన్నాయి, ఇవి అల్లకల్లోల ప్రవాహం మరియు స్థానిక బ్యాక్‌ఫ్లోను ఉత్పత్తి చేస్తాయి.

(2) దీపాలు

శుభ్రమైన గదిలో లైటింగ్ మ్యాచ్‌లు ఎక్కువ ప్రభావాన్ని చూపుతాయి. ఫ్లోరోసెంట్ దీపం యొక్క వేడి గాలి ప్రవాహం పెరగడానికి కారణమవుతుంది కాబట్టి, ఫ్లోరోసెంట్ దీపం అల్లకల్లోలంగా మారదు. సాధారణంగా, వాయు ప్రవాహ సంస్థపై దీపాల ప్రభావాన్ని తగ్గించడానికి శుభ్రమైన గదిలోని దీపాలను టియర్‌డ్రాప్ ఆకారంలో రూపొందించారు.

(3) గోడల మధ్య ఖాళీలు

వేర్వేరు పరిశుభ్రత అవసరాలతో విభజన గోడలు లేదా పైకప్పుల మధ్య అంతరాలు ఉన్నప్పుడు, తక్కువ పరిశుభ్రత అవసరాలు ఉన్న ప్రాంతాల నుండి దుమ్ము అధిక పరిశుభ్రత అవసరాలతో ప్రక్కనే ఉన్న ప్రాంతాలకు బదిలీ చేయవచ్చు.

(4) యాంత్రిక పరికరాలు మరియు నేల లేదా గోడ మధ్య దూరం

యాంత్రిక పరికరాలు మరియు నేల లేదా గోడ మధ్య అంతరం చిన్నది అయితే, రీబౌండ్ అల్లకల్లోలం జరుగుతుంది. అందువల్ల, పరికరాలు మరియు గోడ మధ్య అంతరాన్ని వదిలివేయండి మరియు భూమితో ప్రత్యక్ష సంబంధాన్ని నివారించడానికి యంత్ర వేదికను పెంచండి.