శుభ్రమైన గదిలో వాయుప్రసరణ సంస్థను ప్రభావితం చేసే అంశాలు ఏమిటి?

IC తయారీ పరిశ్రమలో చిప్ దిగుబడి రేటు చిప్‌పై నిక్షిప్తం చేయబడిన గాలి కణాల పరిమాణం మరియు సంఖ్యకు దగ్గరి సంబంధం కలిగి ఉంటుంది. మంచి వాయు ప్రవాహ సంస్థ దుమ్ము మూలం ద్వారా ఉత్పత్తి అయ్యే కణాలను శుభ్రమైన గది నుండి దూరంగా తీసుకెళ్లి శుభ్రమైన గది యొక్క పరిశుభ్రతను నిర్ధారించగలదు, అంటే, శుభ్రమైన గదిలోని వాయు ప్రవాహ సంస్థ IC ఉత్పత్తి దిగుబడి రేటులో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. శుభ్రమైన గదిలో వాయు ప్రవాహ సంస్థ రూపకల్పన కింది లక్ష్యాలను సాధించాలి: హానికరమైన కణాల నిలుపుదలని నివారించడానికి ప్రవాహ క్షేత్రంలో ఎడ్డీ కరెంట్‌ను తగ్గించడం లేదా తొలగించడం; క్రాస్ కాలుష్యాన్ని నివారించడానికి తగిన సానుకూల పీడన ప్రవణతను నిర్వహించడం.

వాయు ప్రవాహ శక్తి

క్లీన్ రూమ్ సూత్రం ప్రకారం, కణాలపై పనిచేసే శక్తులలో ద్రవ్యరాశి బలం, పరమాణు బలం, కణాల మధ్య ఆకర్షణ, వాయు ప్రవాహ బలం మొదలైనవి ఉంటాయి.

వాయు ప్రవాహ శక్తి: డెలివరీ, రిటర్న్ వాయు ప్రవాహం, ఉష్ణ ఉష్ణప్రసరణ వాయు ప్రవాహం, కృత్రిమ గందరగోళం మరియు కణాలను మోసుకెళ్లడానికి ఒక నిర్దిష్ట ప్రవాహ రేటుతో ఇతర వాయు ప్రవాహాల వల్ల కలిగే వాయు ప్రవాహ శక్తిని సూచిస్తుంది. శుభ్రమైన గది వాతావరణం యొక్క సాంకేతిక నియంత్రణ కోసం, వాయు ప్రవాహ శక్తి అత్యంత ముఖ్యమైన అంశం.

వాయుప్రసరణ కదలికలో, కణాలు వాయుప్రసరణ కదలికను దాదాపు ఒకే వేగంతో అనుసరిస్తాయని ప్రయోగాలు చూపించాయి. గాలిలోని కణాల స్థితి వాయుప్రసరణ పంపిణీ ద్వారా నిర్ణయించబడుతుంది. ఇండోర్ కణాలను ప్రభావితం చేసే వాయుప్రసరణలలో ప్రధానంగా ఇవి ఉన్నాయి: గాలి సరఫరా వాయుప్రసరణ (ప్రాథమిక వాయుప్రసరణ మరియు ద్వితీయ వాయుప్రసరణతో సహా), ప్రజలు నడవడం వల్ల కలిగే వాయుప్రసరణ మరియు ఉష్ణ ఉష్ణప్రసరణ వాయుప్రసరణ మరియు ప్రక్రియ ఆపరేషన్ మరియు పారిశ్రామిక పరికరాల వల్ల కలిగే వాయుప్రసరణ. విభిన్న వాయు సరఫరా పద్ధతులు, వేగ ఇంటర్‌ఫేస్‌లు, ఆపరేటర్లు మరియు పారిశ్రామిక పరికరాలు మరియు శుభ్రమైన గదులలో ప్రేరేపిత దృగ్విషయాలు అన్నీ శుభ్రత స్థాయిని ప్రభావితం చేసే అంశాలు.

వాయు ప్రవాహ సంస్థను ప్రభావితం చేసే అంశాలు

1. వాయు సరఫరా పద్ధతి ప్రభావం

(1). గాలి సరఫరా వేగం

ఏకరీతి వాయు ప్రవాహాన్ని నిర్ధారించడానికి, ఏక దిశాత్మక శుభ్రమైన గదిలో గాలి సరఫరా వేగం ఏకరీతిగా ఉండాలి; గాలి సరఫరా ఉపరితలం యొక్క డెడ్ జోన్ చిన్నదిగా ఉండాలి; మరియు ULPAలో పీడన తగ్గుదల కూడా ఏకరీతిగా ఉండాలి.

ఏకరీతి గాలి సరఫరా వేగం: అంటే, గాలి ప్రవాహం యొక్క అసమానత ±20% లోపల నియంత్రించబడుతుంది.

గాలి సరఫరా ఉపరితలంపై తక్కువ డెడ్ జోన్: ULPA ఫ్రేమ్ యొక్క ప్లేన్ వైశాల్యాన్ని తగ్గించడమే కాకుండా, మరింత ముఖ్యంగా, పునరావృత ఫ్రేమ్‌ను సరళీకృతం చేయడానికి మాడ్యులర్ FFUని స్వీకరించాలి.

నిలువు ఏకదిశాత్మక వాయు ప్రవాహాన్ని నిర్ధారించడానికి, ఫిల్టర్ యొక్క పీడన తగ్గుదల ఎంపిక కూడా చాలా ముఖ్యమైనది, ఫిల్టర్‌లోని పీడన నష్టం విచలనం చెందకూడదు.

(2). FFU వ్యవస్థ మరియు అక్షసంబంధ ప్రవాహ ఫ్యాన్ వ్యవస్థ మధ్య పోలిక

FFU అనేది ఫ్యాన్ మరియు ఫిల్టర్ (ULPA) కలిగిన ఎయిర్ సప్లై యూనిట్. FFU యొక్క సెంట్రిఫ్యూగల్ ఫ్యాన్ ద్వారా గాలిని పీల్చుకున్న తర్వాత, డైనమిక్ పీడనం ఎయిర్ డక్ట్‌లో స్టాటిక్ పీడనంగా మార్చబడుతుంది మరియు ULPA ద్వారా సమానంగా బయటకు పంపబడుతుంది. పైకప్పుపై గాలి సరఫరా పీడనం ప్రతికూల పీడనం, తద్వారా ఫిల్టర్‌ను మార్చినప్పుడు శుభ్రమైన గదిలోకి ఎటువంటి దుమ్ము లీక్ అవ్వదు. ఎయిర్ అవుట్‌లెట్ ఏకరూపత, ఎయిర్‌ఫ్లో సమాంతరత మరియు వెంటిలేషన్ సామర్థ్య సూచిక పరంగా FFU వ్యవస్థ అక్షసంబంధ ప్రవాహ ఫ్యాన్ వ్యవస్థ కంటే మెరుగైనదని ప్రయోగాలు చూపించాయి. ఎందుకంటే FFU వ్యవస్థ యొక్క ఎయిర్‌ఫ్లో సమాంతరత మెరుగ్గా ఉంటుంది. FFU వ్యవస్థను ఉపయోగించడం వల్ల క్లీన్ రూమ్‌లోని ఎయిర్‌ఫ్లో బాగా నిర్వహించబడుతుంది.

(3). FFU యొక్క సొంత నిర్మాణం యొక్క ప్రభావం

FFU ప్రధానంగా ఫ్యాన్లు, ఫిల్టర్లు, ఎయిర్‌ఫ్లో గైడ్ పరికరాలు మరియు ఇతర భాగాలతో కూడి ఉంటుంది. అల్ట్రా-హై ఎఫిషియెన్సీ ఫిల్టర్ ULPA అనేది క్లీన్ రూమ్ డిజైన్ యొక్క అవసరమైన శుభ్రతను సాధించగలదా లేదా అనేదానికి అత్యంత ముఖ్యమైన హామీ. ఫిల్టర్ యొక్క పదార్థం ప్రవాహ క్షేత్రం యొక్క ఏకరూపతను కూడా ప్రభావితం చేస్తుంది. ఫిల్టర్ అవుట్‌లెట్‌కు ముతక ఫిల్టర్ మెటీరియల్ లేదా లామినార్ ఫ్లో ప్లేట్ జోడించబడినప్పుడు, అవుట్‌లెట్ ఫ్లో ఫీల్డ్‌ను సులభంగా ఏకరీతిగా చేయవచ్చు.

2. శుభ్రత యొక్క వివిధ వేగ ఇంటర్‌ఫేస్‌ల ప్రభావం

ULPA అవుట్‌లెట్ వద్ద గాలి వేగంలో వ్యత్యాసం కారణంగా, నిలువు ఏకదిశాత్మక ప్రవాహం యొక్క పని ప్రాంతం మరియు పని చేయని ప్రాంతం మధ్య ఉన్న అదే శుభ్రమైన గదిలో, ఇంటర్‌ఫేస్ వద్ద మిశ్రమ సుడి ప్రభావం ఉత్పత్తి అవుతుంది మరియు ఈ ఇంటర్‌ఫేస్ ముఖ్యంగా అధిక గాలి అల్లకల్లోల తీవ్రతతో అల్లకల్లోల గాలి ప్రవాహ జోన్‌గా మారుతుంది. కణాలు పరికరాల ఉపరితలంపైకి ప్రసారం చేయబడి పరికరాలు మరియు పొరలను కలుషితం చేయవచ్చు.

3. సిబ్బంది మరియు పరికరాల ప్రభావం

శుభ్రపరిచే గది ఖాళీగా ఉన్నప్పుడు, గదిలోని గాలి ప్రవాహ లక్షణాలు సాధారణంగా డిజైన్ అవసరాలను తీరుస్తాయి. పరికరాలు శుభ్రపరిచే గదిలోకి ప్రవేశించిన తర్వాత, సిబ్బంది కదులుతారు మరియు ఉత్పత్తులు ప్రసారం చేయబడతాయి, గాలి ప్రవాహ సంస్థకు అనివార్యంగా అడ్డంకులు ఏర్పడతాయి. ఉదాహరణకు, పరికరాల యొక్క పొడుచుకు వచ్చిన మూలలు లేదా అంచుల వద్ద, వాయువు ఒక అల్లకల్లోల మండలాన్ని ఏర్పరచడానికి మళ్లించబడుతుంది మరియు జోన్‌లోని ద్రవం వాయువు ద్వారా సులభంగా తీసుకువెళ్లబడదు, తద్వారా కాలుష్యం ఏర్పడుతుంది. అదే సమయంలో, నిరంతర ఆపరేషన్ కారణంగా పరికరాల ఉపరితలం వేడెక్కుతుంది మరియు ఉష్ణోగ్రత ప్రవణత యంత్రం దగ్గర రిఫ్లో జోన్‌కు కారణమవుతుంది, ఇది రిఫ్లో జోన్‌లో కణాల చేరడం పెంచుతుంది. అదే సమయంలో, అధిక ఉష్ణోగ్రత సులభంగా కణాలు తప్పించుకునేలా చేస్తుంది. ద్వంద్వ ప్రభావం మొత్తం నిలువు లామినార్ శుభ్రతను నియంత్రించడంలో కష్టాన్ని తీవ్రతరం చేస్తుంది. క్లీన్ రూమ్‌లోని ఆపరేటర్ల నుండి వచ్చే దుమ్ము ఈ రిఫ్లో జోన్‌లలో వేఫర్‌లకు కట్టుబడి ఉండటం చాలా సులభం.

4. రిటర్న్ ఎయిర్ ఫ్లోర్ ప్రభావం

నేల గుండా వెళ్ళే తిరిగి వచ్చే గాలి నిరోధకత భిన్నంగా ఉన్నప్పుడు, పీడన వ్యత్యాసం ఏర్పడుతుంది, తద్వారా గాలి తక్కువ నిరోధకత ఉన్న దిశలో ప్రవహిస్తుంది మరియు ఏకరీతి వాయుప్రసరణ పొందలేము. ప్రస్తుత ప్రసిద్ధ డిజైన్ పద్ధతి ఎలివేటెడ్ అంతస్తులను ఉపయోగించడం. ఎలివేటెడ్ అంతస్తుల ప్రారంభ రేటు 10% ఉన్నప్పుడు, గది పని ఎత్తులో వాయుప్రసరణ వేగాన్ని సమానంగా పంపిణీ చేయవచ్చు. అదనంగా, నేల కాలుష్య మూలాన్ని తగ్గించడానికి శుభ్రపరిచే పనిపై కఠినమైన శ్రద్ధ వహించాలి.

5. ఇండక్షన్ దృగ్విషయం

ఇండక్షన్ దృగ్విషయం అని పిలవబడేది, ఏకరీతి ప్రవాహానికి వ్యతిరేక దిశలో గాలి ప్రవాహం ఉత్పత్తి అయ్యే దృగ్విషయాన్ని సూచిస్తుంది మరియు గదిలో లేదా ప్రక్కనే ఉన్న కలుషిత ప్రాంతంలోని దుమ్ములో ఉత్పత్తి అయ్యే దుమ్ము గాలి వైపుకు ప్రేరేపించబడుతుంది, తద్వారా దుమ్ము చిప్‌ను కలుషితం చేస్తుంది. కింది సాధ్యమైన ప్రేరణ దృగ్విషయాలు:

(1). బ్లైండ్ ప్లేట్

నిలువు ఏకదిశాత్మక ప్రవాహం ఉన్న శుభ్రమైన గదిలో, గోడపై ఉన్న కీళ్ల కారణంగా, సాధారణంగా పెద్ద బ్లైండ్ ప్లేట్లు ఉంటాయి, ఇవి స్థానిక రిటర్న్ ప్రవాహంలో అల్లకల్లోలాన్ని సృష్టిస్తాయి.

(2). దీపాలు

శుభ్రమైన గదిలోని లైటింగ్ ఫిక్చర్‌లు ఎక్కువ ప్రభావాన్ని చూపుతాయి. ఫ్లోరోసెంట్ దీపాల వేడి గాలి ప్రవాహాన్ని పెంచడానికి కారణమవుతుంది కాబట్టి, ఫ్లోరోసెంట్ దీపాల కింద ఎటువంటి అల్లకల్లోల ప్రాంతం ఉండదు. సాధారణంగా, శుభ్రమైన గదిలోని దీపాలు గాలి ప్రవాహ సంస్థపై దీపాల ప్రభావాన్ని తగ్గించడానికి కన్నీటి చుక్క ఆకారంలో రూపొందించబడ్డాయి.

(3.) గోడల మధ్య ఖాళీలు

వేర్వేరు శుభ్రత స్థాయిలు కలిగిన విభజనల మధ్య లేదా విభజనలు మరియు పైకప్పుల మధ్య ఖాళీలు ఉన్నప్పుడు, తక్కువ శుభ్రత అవసరాలు కలిగిన ప్రాంతం నుండి దుమ్ము అధిక శుభ్రత అవసరాలు కలిగిన ప్రక్కనే ఉన్న ప్రాంతానికి బదిలీ చేయబడుతుంది.

(4). యంత్రం మరియు నేల లేదా గోడ మధ్య దూరం

యంత్రం మరియు నేల లేదా గోడ మధ్య అంతరం చాలా తక్కువగా ఉంటే, అది రీబౌండ్ టర్బులెన్స్‌కు కారణమవుతుంది. అందువల్ల, పరికరాలు మరియు గోడ మధ్య ఖాళీని వదిలి, యంత్రం నేరుగా నేలను తాకకుండా ఉండటానికి యంత్రాన్ని పైకి లేపండి.