శుభ్రమైన గదిలో వాయు ప్రవాహ సంస్థను ప్రభావితం చేసే అంశాలు ఏమిటి?

ఐసి తయారీ పరిశ్రమలో చిప్ దిగుబడి రేటు చిప్‌లో జమ చేసిన వాయు కణాల పరిమాణం మరియు సంఖ్యతో దగ్గరి సంబంధం కలిగి ఉంటుంది. మంచి వాయు ప్రవాహ సంస్థ శుభ్రమైన గది యొక్క శుభ్రతను నిర్ధారించడానికి శుభ్రమైన గదికి దూరంగా ఉన్న ధూళి మూలం ద్వారా ఉత్పన్నమయ్యే కణాలను తీసుకోవచ్చు, అనగా, శుభ్రమైన గదిలోని వాయు ప్రవాహ సంస్థ ఐసి ఉత్పత్తి దిగుబడి రేటులో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. శుభ్రమైన గదిలో వాయు ప్రవాహ సంస్థ యొక్క రూపకల్పన ఈ క్రింది లక్ష్యాలను సాధించాల్సిన అవసరం ఉంది: హానికరమైన కణాల నిలుపుదలని నివారించడానికి ప్రవాహ క్షేత్రంలో ఎడ్డీ కరెంట్‌ను తగ్గించడం లేదా తొలగించడం; క్రాస్ కాలుష్యాన్ని నివారించడానికి తగిన సానుకూల పీడన ప్రవణతను నిర్వహించండి.

వాయు ప్రవాహ శక్తి

శుభ్రమైన గది సూత్రం ప్రకారం, కణాలపై పనిచేసే శక్తులలో సామూహిక శక్తి, పరమాణు శక్తి, కణాల మధ్య ఆకర్షణ, వాయు ప్రవాహ శక్తి మొదలైనవి ఉన్నాయి.

ఎయిర్‌ఫ్లో ఫోర్స్: డెలివరీ, రిటర్న్ ఎయిర్‌ఫ్లో, థర్మల్ కన్వెక్షన్ ఎయిర్‌ఫ్లో, కృత్రిమ గందరగోళం మరియు ఇతర వాయు ప్రవాహాల వల్ల కలిగే వాయు ప్రవాహాన్ని సూచిస్తుంది. శుభ్రమైన గది వాతావరణం యొక్క సాంకేతిక నియంత్రణ కోసం, వాయు ప్రవాహ శక్తి చాలా ముఖ్యమైన అంశం.

వాయు ప్రవాహ కదలికలో, కణాలు వాయు ప్రవాహ కదలికను దాదాపు అదే వేగంతో అనుసరిస్తాయని ప్రయోగాలు చూపించాయి. గాలిలోని కణాల స్థితి వాయు ప్రవాహ పంపిణీ ద్వారా నిర్ణయించబడుతుంది. ఇండోర్ కణాలను ప్రభావితం చేసే వాయు ప్రవాహాలలో ప్రధానంగా ఇవి ఉన్నాయి: వాయు సరఫరా వాయు ప్రవాహం (ప్రాధమిక వాయు ప్రవాహం మరియు ద్వితీయ వాయు ప్రవాహంతో సహా), ప్రజలు నడవడం వల్ల కలిగే వాయు ప్రవాహం మరియు ఉష్ణ ఉష్ణప్రసరణ వాయు ప్రవాహం మరియు ప్రాసెస్ ఆపరేషన్ మరియు పారిశ్రామిక పరికరాల వల్ల కలిగే వాయు ప్రవాహం. వేర్వేరు వాయు సరఫరా పద్ధతులు, స్పీడ్ ఇంటర్‌ఫేస్‌లు, ఆపరేటర్లు మరియు పారిశ్రామిక పరికరాలు మరియు స్వచ్ఛమైన గదులలో ప్రేరేపిత దృగ్విషయాలు అన్నీ పరిశుభ్రత స్థాయిని ప్రభావితం చేసే అంశాలు.

వాయు ప్రవాహ సంస్థను ప్రభావితం చేసే అంశాలు

1. వాయు సరఫరా పద్ధతి యొక్క ప్రభావం

(1). వాయు సరఫరా వేగం

ఏకరీతి వాయు ప్రవాహాన్ని నిర్ధారించడానికి, గాలి సరఫరా వేగం ఏకదిశాత్మక శుభ్రమైన గదిలో ఏకరీతిగా ఉండాలి; వాయు సరఫరా ఉపరితలం యొక్క డెడ్ జోన్ చిన్నదిగా ఉండాలి; మరియు ULPA లో పీడన డ్రాప్ కూడా ఏకరీతిగా ఉండాలి.

ఏకరీతి వాయు సరఫరా వేగం: అనగా, వాయు ప్రవాహం యొక్క అసమానత ± 20%లోపు నియంత్రించబడుతుంది.

వాయు సరఫరా ఉపరితలంపై తక్కువ డెడ్ జోన్: ULPA ఫ్రేమ్ యొక్క విమాన ప్రాంతాన్ని తగ్గించడమే కాకుండా, పునరావృత ఫ్రేమ్‌ను సరళీకృతం చేయడానికి మాడ్యులర్ FFU ను అవలంబించాలి.

నిలువు ఏకదిశాత్మక వాయు ప్రవాహాన్ని నిర్ధారించడానికి, వడపోత యొక్క ప్రెజర్ డ్రాప్ ఎంపిక కూడా చాలా ముఖ్యం, వడపోతలో పీడన నష్టం తప్పుకోదు.

(2). FFU వ్యవస్థ మరియు అక్షసంబంధ ప్రవాహ అభిమాని వ్యవస్థ మధ్య పోలిక

FFU అనేది అభిమాని మరియు వడపోత (ULPA) తో వాయు సరఫరా యూనిట్. FFU యొక్క సెంట్రిఫ్యూగల్ అభిమాని గాలిని పీల్చుకున్న తరువాత, డైనమిక్ పీడనం గాలి వాహికలో స్థిరమైన పీడనంగా మార్చబడుతుంది మరియు ULPA చేత సమానంగా ఎగిరిపోతుంది. పైకప్పుపై వాయు సరఫరా ఒత్తిడి ప్రతికూల పీడనం, తద్వారా ఫిల్టర్ భర్తీ చేయబడినప్పుడు శుభ్రమైన గదిలోకి ఎటువంటి దుమ్ము లీక్ అవ్వదు. ఎయిర్ అవుట్లెట్ ఏకరూపత, వాయు ప్రవాహ సమాంతరత మరియు వెంటిలేషన్ ఎఫిషియెన్సీ ఇండెక్స్ పరంగా ఎఫ్‌ఎఫ్‌యు వ్యవస్థ అక్షసంబంధ ప్రవాహ అభిమాని వ్యవస్థ కంటే గొప్పదని ప్రయోగాలు చూపించాయి. ఎందుకంటే FFU వ్యవస్థ యొక్క వాయు ప్రవాహ సమాంతరత మంచిది. FFU వ్యవస్థ యొక్క ఉపయోగం శుభ్రమైన గదిలో వాయు ప్రవాహాన్ని బాగా నిర్వహించగలదు.

(3). FFU యొక్క స్వంత నిర్మాణం యొక్క ప్రభావం

FFU ప్రధానంగా అభిమానులు, ఫిల్టర్లు, ఎయిర్‌ఫ్లో గైడ్ పరికరాలు మరియు ఇతర భాగాలతో కూడి ఉంటుంది. అల్ట్రా-హై ఎఫిషియెన్సీ ఫిల్టర్ ULPA అనేది శుభ్రమైన గది డిజైన్ యొక్క అవసరమైన శుభ్రతను సాధించగలదా అనేదానికి చాలా ముఖ్యమైన హామీ. వడపోత యొక్క పదార్థం ప్రవాహ క్షేత్రం యొక్క ఏకరూపతను కూడా ప్రభావితం చేస్తుంది. ముతక వడపోత పదార్థం లేదా లామినార్ ఫ్లో ప్లేట్ ఫిల్టర్ అవుట్‌లెట్‌కు జోడించినప్పుడు, అవుట్‌లెట్ ఫ్లో ఫీల్డ్‌ను సులభంగా ఏకరీతిగా తయారు చేయవచ్చు.

2. పరిశుభ్రత యొక్క వివిధ వేగ ఇంటర్‌ఫేస్‌ల ప్రభావం

అదే శుభ్రమైన గదిలో, పని ప్రాంతం మరియు నిలువు ఏకదిశాత్మక ప్రవాహం యొక్క పని చేయని ప్రాంతం మధ్య, ULPA అవుట్‌లెట్ వద్ద గాలి వేగంతో వ్యత్యాసం కారణంగా, ఇంటర్ఫేస్ వద్ద మిశ్రమ సుడి ప్రభావం ఉత్పత్తి అవుతుంది మరియు ఈ ఇంటర్ఫేస్ అల్లకల్లోలంగా మారుతుంది ముఖ్యంగా అధిక గాలి అల్లకల్లోలం తీవ్రత కలిగిన గాలి ప్రవాహ జోన్. కణాలు పరికరాల ఉపరితలానికి ప్రసారం చేయబడతాయి మరియు పరికరాలు మరియు పొరలను కలుషితం చేయవచ్చు.

3. సిబ్బంది మరియు పరికరాల ప్రభావం

శుభ్రమైన గది ఖాళీగా ఉన్నప్పుడు, గదిలోని గాలి ప్రవాహ లక్షణాలు సాధారణంగా డిజైన్ అవసరాలను తీర్చగలవు. పరికరాలు శుభ్రమైన గదిలోకి ప్రవేశించిన తర్వాత, సిబ్బంది కదలిక మరియు ఉత్పత్తులు ప్రసారం అయిన తర్వాత, అనివార్యంగా వాయు ప్రవాహ సంస్థకు అడ్డంకులు ఉంటాయి. ఉదాహరణకు, పరికరాల యొక్క పొడుచుకు వచ్చిన మూలలు లేదా అంచుల వద్ద, వాయువు అల్లకల్లోలమైన జోన్ ఏర్పడటానికి వాయువు మళ్లించబడుతుంది మరియు జోన్లోని ద్రవం వాయువు ద్వారా సులభంగా తీసుకువెళ్ళబడదు, తద్వారా కాలుష్యం కలిగిస్తుంది. అదే సమయంలో, నిరంతర ఆపరేషన్ కారణంగా పరికరాల ఉపరితలం వేడెక్కుతుంది, మరియు ఉష్ణోగ్రత ప్రవణత యంత్రం దగ్గర రిఫ్లో జోన్‌కు కారణమవుతుంది, ఇది రిఫ్లో జోన్‌లో కణాల చేరడం పెంచుతుంది. అదే సమయంలో, అధిక ఉష్ణోగ్రత సులభంగా కణాలు తప్పించుకోవడానికి కారణమవుతుంది. ద్వంద్వ ప్రభావం మొత్తం నిలువు లామినార్ శుభ్రతను నియంత్రించడంలో ఇబ్బందులను తీవ్రతరం చేస్తుంది. శుభ్రమైన గదిలోని ఆపరేటర్ల నుండి దుమ్ము ఈ రిఫ్లో జోన్లలోని పొరలకు కట్టుబడి ఉండటం చాలా సులభం.

4. రిటర్న్ ఎయిర్ ఫ్లోర్ ప్రభావం

నేల గుండా వెళుతున్న రిటర్న్ గాలి యొక్క నిరోధకత భిన్నంగా ఉన్నప్పుడు, పీడన వ్యత్యాసం ఉత్పత్తి అవుతుంది, తద్వారా గాలి తక్కువ నిరోధకత దిశలో ప్రవహిస్తుంది మరియు ఏకరీతి వాయు ప్రవాహం పొందబడదు. ప్రస్తుత జనాదరణ పొందిన డిజైన్ పద్ధతి ఎత్తైన అంతస్తులను ఉపయోగించడం. ఎలివేటెడ్ అంతస్తుల ప్రారంభ రేటు 10%అయినప్పుడు, గది యొక్క పని ఎత్తులో వాయు ప్రవాహ వేగాన్ని సమానంగా పంపిణీ చేయవచ్చు. అదనంగా, నేల యొక్క కాలుష్య మూలాన్ని తగ్గించడానికి శుభ్రపరిచే పనులపై కఠినమైన శ్రద్ధ వహించాలి.

5. ఇండక్షన్ దృగ్విషయం

ఇండక్షన్ దృగ్విషయం అని పిలవబడేది ఏకరీతి ప్రవాహం యొక్క వ్యతిరేక దిశలో ఉన్న వాయు ప్రవాహం ఉత్పత్తి అవుతుంది, మరియు గదిలో లేదా ప్రక్కనే ఉన్న కలుషితమైన ప్రదేశంలో దుమ్ములో ఉత్పన్నమయ్యే దుమ్ము పైకి వచ్చే వైపుకు ప్రేరేపించబడుతుంది, తద్వారా దుమ్ము వస్తుంది చిప్‌ను కలుషితం చేయవచ్చు. కిందివి ఇండక్షన్ దృగ్విషయం:

(1). బ్లైండ్ ప్లేట్

నిలువు ఏకదిశాత్మక ప్రవాహంతో శుభ్రమైన గదిలో, గోడపై ఉన్న కీళ్ల కారణంగా, సాధారణంగా పెద్ద బ్లైండ్ ప్లేట్లు ఉన్నాయి, ఇవి స్థానిక రాబడి ప్రవాహంలో అల్లకల్లోలాలను కలిగిస్తాయి.

(2). దీపాలు

శుభ్రమైన గదిలో లైటింగ్ మ్యాచ్‌లు ఎక్కువ ప్రభావాన్ని చూపుతాయి. ఫ్లోరోసెంట్ దీపాల వేడి గాలి ప్రవాహం పెరగడానికి కారణమవుతుంది కాబట్టి, ఫ్లోరోసెంట్ దీపాల కింద అల్లకల్లోలంగా ఉన్న ప్రాంతం ఉండదు. సాధారణంగా, శుభ్రమైన గదిలోని దీపాలను కన్నీటి ఆకారంలో రూపొందించారు, వాయు ప్రవాహ సంస్థపై దీపాల ప్రభావాన్ని తగ్గిస్తుంది.

(3.) గోడల మధ్య ఖాళీలు

వేర్వేరు పరిశుభ్రత స్థాయిలతో లేదా విభజనలు మరియు పైకప్పుల మధ్య విభజనల మధ్య అంతరాలు ఉన్నప్పుడు, తక్కువ పరిశుభ్రత అవసరాలతో ఉన్న ప్రాంతం నుండి ధూళిని అధిక పరిశుభ్రత అవసరాలతో ప్రక్కనే ఉన్న ప్రాంతానికి బదిలీ చేయవచ్చు.

(4). యంత్రం మరియు నేల లేదా గోడ మధ్య దూరం

యంత్రం మరియు నేల లేదా గోడ మధ్య అంతరం చాలా తక్కువగా ఉంటే, అది రీబౌండ్ అల్లకల్లోలం కలిగిస్తుంది. అందువల్ల, పరికరాలు మరియు గోడ మధ్య అంతరాన్ని వదిలి, యంత్రాన్ని నేరుగా భూమిని తాకనివ్వకుండా ఉండటానికి యంత్రాన్ని పెంచండి.